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    您的位置:首页 > 真空机组 » 氟油在爱德华螺杆真空泵上的应用 更新时间:2023-01-02

    氟油在爱德华螺杆真空泵上的应用

    苏威氟油FOMBLIN DRYNERT 25/6具体性能如下:
      1、化学稳定性:
    DRYNERT 25/6 化学性能非常稳定,耐强酸,包括极强的路易氏酸,耐强碱。性能非常稳定,与接触的任何特种气体如氟气,SiH4等,强腐蚀性物质,强氧化剂,还原剂等均不发生反应。
      2、不燃烧性:
    DRYNERT 25/6 分子结构中不含氢元素,耐氧化,不会燃烧,无闪点,无燃点,可避免任何火灾的隐患,达到半导体行业安全性的要求。
      3、热稳定性:极低的蒸发率和降解率,能够避免任何残留物的形成而影响半导体工业中反应室的纯净度及高真空度的维持。
      4、卓越的润滑性能:尤其在比较宽的操作温度范围,在高负载,高压强的情况下,
    DRYNERT 25/6 均具有良好的润滑性能,能够减少磨耗,尤其对于真空泵及压缩机等设备维持优良的运行性能等等非常重要。
      5、粘度和蒸气指标稳定可靠: 能够保持极低的回流率,从而能够持续地保证系统的高真空度。
      综上所述,杜邦全氟聚醚产品-
    DRYNERT 25/6 真空泵油完全能够满足半导体工业的要求,尤其是针对半导体芯片加工过程中如刻蚀剂和沉淀过程中所面临的特殊气体,强腐蚀性化学物质,均能保证其操作的安全与可靠。
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    DRYNERT 25/6 /LVO100/130/120/210,欢迎来电咨询。

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